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高纯气/特气分析系统是一种用于分析和检测高纯度气体或特殊气体中成分和杂质的仪器。这些气体通常在半导体、光电、电子、化学、医药等行业中被广泛应用,其组分对产品质量和性能有着重要的影响。 高纯气/特气分析系统通常包括气瓶、净化系统、取样系统、分析系统、数据处理系统等部分。其中,气瓶用于存放高纯气体或特气;净化系统可以除去气体中的水分、氧气、杂质等;取样系统可以从气瓶中取出气体样品,并将其送入分析系统进行分析;分析系统则采用多种技术手段(如质谱、光谱、色谱等)对气体成分进行分析;数据处理系统则可以对分析结果进行处理、显示和存储。 通过使用高纯气/特气分析系统,可以精确地分析气体中各种成分的含量,以及检测其中的杂质和污染物,帮助生产企业保证产品质量和性能,同时也可以用于科学研究和环保监测等领域。
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