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仪器信息网 3i讲堂 高分辨率显微技术在半导体工艺中的应用
4 0 投诉 分享 224 2023-07-27
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高分辨率显微技术在半导体工艺中的应用

所属会议:首届半导体工艺及其检测技术网络会议 话题:半导体
光学检测技术在半导体行业应用广泛，基于高分辨率光学和软件图像处理技术可以对半导体生产工艺中的缺陷进行检测与分析。本课程将从针对晶圆检测的大平台显微镜、DCM8光学表面测量系统和OEM等方面，介绍徕卡高分辨率光学显微镜在半导体工艺中的应用。

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