产地类别： 国产
微波源： 3KW/2.45GHZ
最高温度： 低于45℃
温度测量准确度： 集成的控制系统设计，专利控制软件。
温度控制稳定性： 自由基分子的等离子体无偏压，不会对产品有电性损伤，去胶速率高。
温度均匀度： 良好的气体流量调节，可以达到比较高的均匀性
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半导体 2023-04-10
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保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可享受3次免费电话培训
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 免费更换小型配件，免费测试样品
报修承诺: 全国24小时内电话响应
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