MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统：新型电子光学系统，可达到高水准的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速电压的分辨率，使得高品质TEM样品制备成为可能
可用于截面加工观察，高品质TEM样品制备，电路修复，Vector Scan加工，微纳米级微细图形及磨具加工，利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。
可在样品台移动（包括倾斜）时自动对多个部位进行多种加工。
截面制备程序加工
TEM/STEM样品程序加工
自动连续加工
TEM样品自动连续精加工软件
位图加工
Vector Scan加工
制备纳米精度三维结构样品
该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途，照射多种气体。
钨沉积气体
铂沉积气体
绝缘膜制备用沉积气体
氟化氙蚀刻气体
有机类蚀刻气体
碳沉积气体
日立高新技术公司独创的坐标链接功能丰富多样，可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。
光镜图像与SIM像的链接
双光标功能
日本第4634134号 美国第7595488号
与缺陷检测设备建立坐标链接
已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接。
CAD联用导航软件
保修期: 面议
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
