仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 10-300W无j可调
功率： 40KHz
设备尺寸： L618xW520xH465mm
样品腔容积： 12.8L
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 大气/氧气/氩气
控制方式： 半自动
CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中试生产、模拟生产条件的等离子体清洗设备，几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。具有较大的腔体尺寸和样品处理面积，使用成本低，性价比高，易维护，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
产品特点：
u 可模拟生产条件，便于小批量中试生产。
u 桌面型，占用空间小。
u 性能稳定，操作简便，使用成本低，易于维护，性价比高。
u 有效处理面积大，可处理8寸硅片去胶等应用。
u 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。
技术参数：
型号 | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-300W可调 |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |
z大处理尺寸 | Φ370mm圆盘 | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 根据客户需求
保内维修承诺: 保期内免费更换零件
报修承诺: 24小时内响应
