产地类别: 进口
芯片类型: 线宽加工
芯片材料: 有机衬底以及硅
检出限: 1微米以上
流道大小(1μm): 1微米以上
检测物质: 芯片加工
看了微流控芯片的用户又看了
EVG610单面/双面光刻机
一、 简介
EVG公司成立于1980年,公司总部和制造厂位于奥地利,在美国、日本和台湾设有分公司,并在其他各地设有销售代理及售后服务部,产品和服务遍及世界各地。
EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。
目前已有数千台设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件,SOI基片制造,3D封装,纳米压印,化合物半导体器件和功率器件等领域。
EVG610是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理zui大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610支持各种标准的光刻工艺,例如:真空、软、硬接触和接近曝光;也支持其他特殊的应用,如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。EVG610系统中的工具更换非常简便快捷,每次更换都可在几分钟之内完成,而不需要专门的工程人员和培训,非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
二、应用范围
EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、微波器件及微电子机械系统(MEMS)、硅片凸点、化合物半导体等领域,涵盖了微纳电子领域微米或亚微米级线条器件的图形光刻应用。
三、主要特点
u 支持背面对准光刻和键合对准工艺
u 自动的微米计控制曝光间距
u 自动契型补偿系统
u 优异的全局光强均匀度
u 免维护单独气浮工作台
u zui小化的占地面积
u Windows图形化用户界面
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
EVG微流控芯片EVG 光刻机610系列的工作原理介绍
微流控芯片EVG 光刻机610系列的使用方法?
EVGEVG 光刻机610系列多少钱一台?
微流控芯片EVG 光刻机610系列可以检测什么?
微流控芯片EVG 光刻机610系列使用的注意事项?
EVGEVG 光刻机610系列的说明书有吗?
EVG微流控芯片EVG 光刻机610系列的操作规程有吗?
EVG微流控芯片EVG 光刻机610系列报价含票含运吗?
EVGEVG 光刻机610系列有现货吗?
FluidicLab自动微球/微液滴制备仪-液滴微流控系统
默克 Millipore® CellASIC 微流控细胞芯片实验室
微纳米材料沉积喷墨打印系统(高分辨毛细作用直写打印系统)
LabChip GX TouchHT核酸分析系统
FluidicLab 高通量微滴生成芯片-液滴微流控芯片PDMS材质
Elveflow微流控 MUX RECIRCULATION 6口2位双向阀
上海迹亚国际商贸有限公司
VivoVerse线虫高通量微流控制系统
上海沃埃得贸易有限公司
类器官微流控器官芯片系统
铂睿纳生物科技(上海)有限公司
类器官芯片
芯启蔚来生物科技(上海)有限公司
最多添加5台