¥150万 - 200万
日立
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VS1800
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亚洲
产地类别： 进口
仪器种类： 转盘共聚焦显微镜
产品介绍：
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
主要特点：
n 采用光干涉方式，非接触测量
n 3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量
n 自动粗糙度参数选择（ISO25178）
n 毫米级大面积测量
n 高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）
n 快速、高重复性测量
n 多层薄膜和薄膜内层缺陷分析
照明系统 | 卤素光源，波长530nm |
相机 | 标准相机（640x480像素），高像素相机可选（1024x1024像素） |
物镜 | 2.5x、5x、10x、20x、50x、110x可选 |
显微镜控制 | Z轴马达控制 |
样品台 | Type1，Tpye2，Type3 |
减震台 | 被动式减震台，主动式减震台可选 |
扫描器 | 机械马达扫描器，压电陶瓷扫描器可选 |
测量软件 | VS-Measure，VS-Viewer等 |
