Omega/Theta XRD
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Freiberg Instruments

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Omega/Theta XRD

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欧洲

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核心参数

Omega/Theta XRD

用于生产的立式XRD

  • 转移技术:可高效率进行多个铸锭同时定向

  • 同时测定(SiGeBBOYAGSiCGaN、蓝宝石、涡轮叶片等200多种晶体材料)所以晶体方向取向,测量单晶晶体取向偏差。

  • 快速测量晶体取向,测量时间仅需5

  • 自动晶片分类和处理

  • 摇摆曲线测量和3Dmapping绘图

  • 晶圆表面翘曲度偏差检测

  • 整块晶圆和涡轮叶片晶体取向mapping

  • 精度:0.001°

  • 设备操作简单、快捷、方便,适用于各研究机构和全自动化生产线


测试案例:

设备测试实例:

蓝宝石取向 mapping、摇摆曲线测量:窄反射峰=表面质量好

XRD 1.png


SiC 取向 mapping、摇摆曲线测量:宽反射峰=晶体表面局部干扰

XRD 2.png


单晶涡轮叶片检测图:

XRD 4.png

 

 

 

 

XRD 5.png

XRD 6.png


 

 

 

碳化硅晶圆检测案例:

晶体取向mapping


总倾斜偏差mapping

 

 

 

表面倾斜偏差mapping

 

 

 

垂直方向倾斜偏差mapping

 


 

水平倾斜偏差mapping

 


摇摆曲线mapping



售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 我方提供设备使用及设备维护保养培训,直至采购人相关人员掌握为止

免费仪器保养: 提供终身软件免费升级

保内维修承诺: 设备发生任何非误操作造成的故障和损坏,均由供货方负责免费修复,失效零件予以免费更

报修承诺: 我公司提供 24 小时服务热线

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