导膜法(EFG)宝蓝石晶体生长炉
导膜法(EFG)宝蓝石晶体生长炉

¥2万 - 5万

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导膜法(EFG)宝蓝石晶体生长炉

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中国大陆

核心参数

产品优势:
1、生长速度快,周期短(2-3天/炉),成本低,易于稳定量产。
2、成熟的设备制造技术和长晶工艺,且长晶工艺灵活,可根据客户需要调整。
3、可多片同步生长,同质同量,产能大幅提高,晶体坯料易加工,加工成本低,且长晶能耗低,成本可大大降低。
4、设备及热场稳定性好,重复性高,主要热场部件可使用2年以上。
5、采用触摸屏,PAC全自动操作系统,人性化的人机对话系统,操作简便。
6、拥有研发基地,可验证长晶,为客户提供专业的技术培训、设备操作和工艺指导。
7、规模化的研发基地,可同时进行技术验证与创新,确保产品与技术的成熟性和前沿性,持续将公司最新研发成果快速与客户共享。
8、配置真空安全保护装置,安全性能更高。
9、精密稳定的提拉系统,专利设计,控制精度高,传动平稳,抗干扰能力强,更利于晶体生长。

性能参数

 

类型

导模法

炉体

800×1300mm

冷态空炉极限真空度

≤6.6×10-4Pa

籽晶杆

炉内行程

1000mm

提拉速度连续可调范围/精度

0.1-50mm/h±1%

快提拉速度连续升降可调

100-150mm/min

真空配置

分子泵、机械泵、插板阀

真空测量系统

测量范围:大气压到1×10-5Pa

自动控制系统

PAC全自动运行程序

循环水用量

≥8 m3/h

额定总功率/频率

80kw/2500Hz

设备占地面积(长×宽×高)

2200×1200×4000mm3 

 

 

技术指标:

 

项目

指标

最大使用功率

30kw

长晶周期

70H

单炉能耗

1200kw.H

晶片规格

双片,多片(16-24片),异形件(管、棒、拱形件等);也可根据客户要求定制规格。

投料量

5-6kg或可连续加料

取材率

80%

成本

600/kg

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