EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪（Large Chamber Sputter Coaters）
适合SEM（扫描电镜）、FE-SEM（场发射扫描电镜）、TEM（透射电镜）。
EMS300R T 与EMS150R T相似，明显区别是EMS300R T腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见EMS300T T）。海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理，欢迎大家登录查阅。
特征参数：
1、 可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜
2、 三个溅射头确保溅射沉积质量
3、 单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜
4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选
5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚
6、 全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便
7、 可以储存不同用户的程序
8、 能够记录100个最新镀膜细节
9、 真空自动控制，且具有真空保持功能
10、 落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）
11、 最长60分钟不间断镀膜能力
12、 符合人体工程学的整体注塑机身
13、 电气符合CE要求
14、 三年质保
样品台
EMS300R T有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。
l 扁平样品台，用于晶圆的镀膜（152mm-203mm），标配
l 旋转样品台，50mm，不能倾斜
l 旋转倾斜样品台，50mm，高度可调（靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调），倾斜角度在0-30度之间
l 用于拨片的旋转台
l 加高腔室：需要时可以得到（付费）
仪器参数：
仪器外形尺寸 | 585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm) |
重量 | 36.4kg |
包装尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg) |
工作腔室 | 高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H |
安全保护 | 整体PET套筒 |
显示 | 145mm x 320mm x 240mm TFT彩显 |
使用者界面 | 直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及最后100个镀膜方案日志记录 |
溅射靶材 | 标配三个57 mm ? x 0.1 mm金靶 (SC502-314A) |
海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理，欢迎大家登录查阅。
真空：
旋转真空泵 | 50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separately, 91005. |
真空监测 | 皮拉尼测量 |
极限真空度 | 洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气 |
样品台 | 标配晶圆样品台，152mm-203mm，旋转速度可调 |
溅射 | 根据镀膜厚度或内置的计时器，溅射电流范围在0-80mA ，最长溅射时间不超过60分钟 |
用带有几百电子伏特以上动能的粒子或粒子束轰击固体表面，使靠近固体表面的原子获得入射粒子所带能量的一部分而脱离固体进入到真空中，这种现象称为溅射。
