驰奔DESK-V小型离子溅射仪

该小型离子溅射仪器，磁控溅射方式；专利的电子过滤网、实现冷溅射；电极反转可实现样品等离子刻蚀、清洗；旋转样品台；全自动操作，预设溅射条件。