电子枪种类: 冷场发射
二次电子图象分辨率: 0.4nm(30KV)
放大倍数: 高:800-3,000,000x
加速电压: 0.5-30KV(标准模式)
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项目 | 技术指标 | |||
二次电子分辨率 | 0.4nm (加速电压30kV,放大倍率80万倍) | |||
1.2nm (加速电压1kV,放大倍率25万倍) | ||||
STEM分辨率 | 0.34nm(加速电压30kV,晶格象) | |||
观测倍率 | 底片输出 | 显示器输出 | ||
LM模式 | 80~10,000x | 220~25,000x | ||
HM模式 | 800~3,000,000x | 2,200~8,000,000x | ||
样品台 | 侧插式样品杆 | |||
样品移动行程 | X | ±4.0mm | ||
Y | ±2.0mm | |||
Z | ±0.3mm | |||
T | ±40度 | |||
标准样品台 | 平面样品台:5.0mm×9.5mm×3.5mmH | |||
截面样品台:2.0mm×6.0mm×5.0mmH | ||||
专用样品台 | 截面样品台:2.0mm×12.0mm×6.0mmH | |||
双倾截面样品台:0.8mm×8.5mm×3.5mmH | ||||
信号检测器 | 二次电子探测器 | |||
TOP 探测器(选配) | ||||
BF/DF 双STEM探测器(选配) |
日本电子 JEOL 钨灯丝扫描电子显微镜 JSM-IT210
Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜
日本电子 JSM-IT810场发射扫描电子显微镜
德国蔡司 ZEISS Sigma 360场发射扫描电子显微镜
高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series
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