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应用:利用SEM和Micro-XRF联用技术分析LED

发布时间:2017/05/08 15:23 点击 102

     

      发光二极管(英语:Light-Emitting Diode,简称LED) 是一种能将电能转化为光能的半导体电子元件。这种电子元件早在1962年出现,早期只能发出低光度的红光,之后发展出其他单色光的版本,时至今日能发出的光已遍及可见光、红外线紫外线,光度也提高到相当的光度。而用途也由初时作为指示灯、显示板等;随着技术的不断进步,发光二极管已被广泛地应用于显示器、电视机采光装饰和照明。

    

    微区X射线荧光光谱(Micro-XRF)可以跟电镜(SEM)联用在样品仓内对样品进行深层成分分析,结合能谱(EDX)可获得更多样品信息。其原理是利用50kVX射线照射样品,通过收集激发出来的特征X射线来分析元素。Micro-XRF相对于EDX,其能分析更深层的元素,且对重元素的特征X射线激发率更高,同时可以避免荷电现象的影响。


   

    图1是利用micro-XRFLED分析的结果(白光LEDMicro-XRF mapping结果)。图中可见我们不需要观测截面就可分析出环氧树脂中的元素(Sr , Y)及Ga,甚至700um深层的电极Ag层都能精确地被分析出。(实验条件:Acc. Voltage 50kV, Mag. 25x, Analysis time 10hours.


(LED截面EDX分析结果:Hitachi SU3500)


SU3500  http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C168115.htm

 

关于日立高新技术公司:

日立高新技术公司,于2013年1月,融合了X射线和热分析等核心技术,成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术,精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新,因此公司变为日立高新的子公司,同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学,扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料,产品线更丰富的日立高新技术集团,将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注日立高新官方网站:http://www.hitachi-hightech.com/cn/

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