高通量计量和检测的污染控制智慧之道

电动物镜转盘

半导体、FPD 和 OLED 行业的污染控制

清洁度是半导体、FPD 和 OLED 制造行业的检查人员很关心的问题，这一点关系到是否可以生产出功能正常的产品。因此，应将检测设备用于受控环境，如洁净室。不允许灰尘从物镜转盘落到样品上，如半导体晶圆。即使是微小的灰尘也会污染晶圆，破坏其功能，进而影响产品产量。

我们带真空功能的电动物镜转盘 (U-D5BDREMC-VA) 使用负压吸力，可减少物镜转盘旋转时落下的细粒数量，并捕获润滑系统所用润滑脂产生的任何气体或灰尘。这种真空功能使我们的物镜转盘成为受控洁净室环境的理想选择。物镜转盘可用作半导体和FPD检测设备的内置显微镜模块。

用于污染控制的带真空功能的物镜转盘

用于半导体晶圆检测及其他用途的各种物镜转盘

我们提供各种物镜转盘，这些物镜转盘可集成到检测、生产和研究领域的系统中。我们的选择包含手动和电动选项。

• 手动物镜转盘：该产品系列可以支持诸如明场、暗场和微分干涉对比 (DIC) 等观测方法，可以容纳四至七个物镜，满足 ESD 规范等。

• 带编码功能的物镜转盘：这种类型的手动物镜转盘可以检测转盘的物镜安装孔位置。您可以使用软件将物镜的放大倍率信息与其在转盘上的位置相匹配，使您能够更快地将放大倍率信息添加到捕获的图像中，同时降低手动数据输入错误的风险。

• 电动物镜转盘：这种类型的物镜转盘可以通过电动方式移动五个或六个物镜。带有真空功能的电动物镜转盘同样已经推出。

• 带对中功能的物镜转盘：这种类型的物镜转盘可让您通过手动或电动方式将物镜的光轴对中。这样可以改变物镜转盘的孔位置，以便针对每个物镜的细微移动进行调整。最终将所有安装的物镜对准。经过调整，您会发现更换物镜前后，中心位置是相同的。

• 物镜支架转接器：这款转接器 (STM7-MMOBAD) 可让您只使用一个物镜。如果您的应用不需要多个物镜，那这是一种经济实惠的选择。请注意，这款转接器（适配器）仅配备 RMS 螺丝 W26，并且没有用于暗场照明的光路。

您只需将一个物镜连接到支持多个物镜的系统，物镜适配器 (STM7-MMOBAD) 实现了灵活性。左侧：使用物镜适配器连接了一个物镜。中间：连接转盘前。右侧：使用物镜转盘连接了多个物镜。