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产品详情
AlN薄膜
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品牌:
 合肥科晶
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名 称: 合肥科晶材料技术有限公司
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产品简介

产品名称:

氮化铝(AlN)薄膜

产品简介:

AllN Epitxial范本saphhire提出了氢化物气相外延(HVPE)的方法。氮化铝薄膜又是成本效益的方法,用来取代氮化铝单晶衬底。科晶真诚欢迎您的垂询!

技术参数:

尺寸 dia50.8mm±1mm蓝宝石衬底取向 c轴(0001)±1.0deg衬底: Al2O3;SiC;GaN薄膜厚度:10-5000nm导电类型: 半绝缘型位错密度:XRD FWHM of <0002><500arcsec;XRD FWHM of <10-12><1500arcsec;有效面积:>80%抛光:单抛光

 

  产品规格:

 

氮化铝(蓝宝石衬底):dia2"*1500nm±10%

 

注:可根据客户需求定制特殊的方向和尺寸。

标准包装:

1000级超净室,100级超净袋或单片盒封装

仪器信息网 http://www.instrument.com.cn/ 设计制作