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海能仪器:微波消解半导体研磨剂(液)应用方案

2018/12/11 14:38

阅读:180

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应用领域:
半导体
发布时间:
2018/12/11
检测样品:
其他
检测项目:
理化
浏览次数:
180
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参考标准:
见资料

方案摘要:

对于成分未知且较为复杂的半导体研磨剂,硫磷混酸加氢氟酸的体系表现出极强的消解效果,可以将样品完全消解至无色透明状态。新仪TANK系列密闭微波消解仪消解此类研磨剂的极限在0.2g左右。此方法只针对新仪各系列密闭微波消解仪,切勿直接套用。

方案详情:

1 前言

研磨剂是指用磨料、分散剂(又称研磨液)和辅助材料制成的混合剂。研磨剂中的磨料起切削作用,常用的磨料有刚玉、碳化硅、碳化硼和人造金刚石等。精研和抛光时还用软磨料,如氧化铁、氧化铬和氧化铈等。

磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式,抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控,对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法,来解决研磨剂成分分析。下面,本文以某研磨剂为样本,探索研磨剂的微波消解方法。

2 仪器与试剂

2.1 仪器

新仪TANK系列密闭微波消解仪电子天平(十万分之一)

2.2 试剂

浓硫酸浓磷酸浓硝酸浓盐酸氢氟酸超纯水


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