2018/12/11 14:38
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1 前言
研磨剂是指用磨料、分散剂(又称研磨液)和辅助材料制成的混合剂。研磨剂中的磨料起切削作用,常用的磨料有刚玉、碳化硅、碳化硼和人造金刚石等。精研和抛光时还用软磨料,如氧化铁、氧化铬和氧化铈等。
磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式,抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控,对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法,来解决研磨剂成分分析。下面,本文以某研磨剂为样本,探索研磨剂的微波消解方法。
2 仪器与试剂
2.1 仪器
新仪TANK系列密闭微波消解仪、电子天平(十万分之一)
2.2 试剂
浓硫酸、浓磷酸、浓硝酸、浓盐酸、氢氟酸、超纯水
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电位滴定法测定双脂肪烷基甲基叔胺的胺值
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