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Advance Riko RTP-快速退火炉

产品详情
Advance Riko RTP-快速退火炉
Advance Riko RTP-快速退火炉
参考报价:
 面议
型号:
 MILA-5000Series
品牌:
 ADVANCE RIKO
产地:
 日本
样本:  【暂无】 信息完整度:  
典型用户:  0
分享:
400-860-5168转0758
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仪信通铜牌会员 第 13 年
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名 称: 凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司
认 证: 工商信息已核实
信用积分:3385
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产品简介

 

快速热处理(RTP)已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前,只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理,这大大降低了研发工作的效率(尤其是小的样品)。为了满足市场的需求,ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口,MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。

特点:

快速加热及冷却能力;

可在任意气氛中使用;

实时观测试样;

精确的温度控制;

 

型号

MILA-5000Series

温度范围:

室温~1200℃(最高)

最大加热功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮气氛围

温度均匀性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组:

温度VS时间设定、Step数256、Program数32(最大);

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;

 

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