核心参数
电子枪种类: 冷场发射
二次电子图象分辨率: 0.4nm(30KV)
放大倍数: 高:800-3,000,000x
加速电压: 0.5-30KV(标准模式)
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7SU9000在半导体方面的应用
在半导体领域,日立电镜专利的E×B技术以及独特的信号控制系统,使得不论是S-4800、SU8000系列亦或是SU8200系列,都在半导体领域的图像观察方面有着无可比拟的优势。而SU9000借助其独特的物镜设计及优化的光学系统不仅成为了一款世界上分辨率最高的电镜,更是强化了日立电镜在半导体领域一贯的统治。
半导体
2017/03/20
2SU9000在低电压高分辨晶格像观察中的应用
SU9000作为冷场发射扫描电镜,其本身具有很高的分辨率,同时采用内透镜的物镜设计使其具有与透射电镜相同的功能。由于SU9000的最高加速电压只有30kV,因此它可以实现低电压下高分辨晶格像的观察。
半导体
2017/03/20
1SU9000在低电压电子能量损失谱中的应用
电子能量损失谱(EELS)作为一种元素分析方法已经在透射电镜中被广泛使用。但是,传统的透射电镜由于电压过高,对于某些材料(如纳米材料、弱相位)进行EELS分析时会产生较大的损伤,或者无法显示足够的衬度,这类材料往往需要低电压(<30kV)的EELS分析。日立的SU9000既有扫描电镜的功能,同时又带有EELS和电子衍射等透射电镜的分析功能,很好的填补了透射电镜在低电压EELS和电子衍射方面的缺陷。 在线PDF阅读
半导体
2017/03/20
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