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仪器介绍
JCM-5700專為工業生產研究使用而設計的一款高性能可移動式電子顯微鏡,他的運行成本低,儀器操作簡單,並且啟動速度快,任何人都能得到良好結果的高度再現性。是一款經濟實用性電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡(SEM)與光學顯微鏡和鐳射顯微鏡相比,具有焦距更深,解析度更好的特點。相反,得不到象光學顯微鏡那樣獲得的純自然光澤。我們利用掃描電子顯微鏡的主要特點,可以廣泛應用於科研和生產。
技术参数
解析度 5.0nm
放大倍數 × 8 ∼ 300000
加速電壓 0.5 ∼ 20kV
Z軸 5 ∼ 48mm
R軸 360º
T軸 −10 ∼ 90º
樣品厚度 43mm
真空系統 TMP/RP
功率 1.5kVA以下
重量 約265Kg
儀器尺寸 600(W) × 1,000(D) × 1,450mm(H)
放大倍數 × 8 ∼ 300000
加速電壓 0.5 ∼ 20kV
Z軸 5 ∼ 48mm
R軸 360º
T軸 −10 ∼ 90º
樣品厚度 43mm
真空系統 TMP/RP
功率 1.5kVA以下
重量 約265Kg
儀器尺寸 600(W) × 1,000(D) × 1,450mm(H)
主要特点
1. 鮮明的SEM圖像上進行高精度測量
從極低倍到高倍,在圖像上就可以直接進行長度和角度測量,即在鮮明的圖像上進行高精度測量。保存後的圖像也可以用SMile View軟體(選購件)打開並進行測量。
2. 3D觀察-測量(選購)
JCM-5700利用掃描電子顯微鏡焦深大的特點,可以進行立體的高度測量。同一個視野,傾斜角度改變10°左右,獲得兩張圖像,進行高度測量。
3. 不僅可以觀察圖像,還可以進行成分分析
不僅可以利用二次電子資訊進行樣品表面觀察,還可以利用背散射電子成份襯度像進行異物及多層膜觀察。另外,還可以使用能量分散型光譜儀(EDS)進行元素分析。日本電子生產能譜儀JED-2300可以與主機實現一體化,將點鏡擴展為分析型點鏡。
從極低倍到高倍,在圖像上就可以直接進行長度和角度測量,即在鮮明的圖像上進行高精度測量。保存後的圖像也可以用SMile View軟體(選購件)打開並進行測量。
2. 3D觀察-測量(選購)
JCM-5700利用掃描電子顯微鏡焦深大的特點,可以進行立體的高度測量。同一個視野,傾斜角度改變10°左右,獲得兩張圖像,進行高度測量。
3. 不僅可以觀察圖像,還可以進行成分分析
不僅可以利用二次電子資訊進行樣品表面觀察,還可以利用背散射電子成份襯度像進行異物及多層膜觀察。另外,還可以使用能量分散型光譜儀(EDS)進行元素分析。日本電子生產能譜儀JED-2300可以與主機實現一體化,將點鏡擴展為分析型點鏡。
分析方法
此仪器尚未上传分析方法
相关资料
此仪器尚未上传资料
应用领域
电子/通讯/计算机
所属专场
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