产品介绍
真空紫外光谱仪（VS7550 VUV）是一个Czerny Turner型微型光谱仪，具有快速、光谱分辨率高的特点。软件控制狭缝尺、F值、消高阶衍射滤光片、光栅角度和黑暗暴露。对于VUV操作，光谱仪具有UHV窗口和层流清洗系统，这允许降低窗口截止波长（112nm对于MgF2来讲），另外该真空紫外光谱仪设计小巧，大约手掌大小，可以在5米电缆终端的任何方向上进行操作。
配件包括一个内置的光谱校准光源/一个多光谱光场的平面光源和性价比高的望远镜/真空泵接口/流量控制器。
图 1 真空紫外光谱仪实物图 |
图 23600槽/mm光栅光源是 H2和Hg光源的光谱 |
产品特点
u 高速Czerny-Turner光学设计最高到f/3.2（@CCD）；
u 使用3600槽/mm的光栅可使分辨率优于0.2nm；
u 用户可自行更换光栅，范围从600-4200槽/mm；
u 使用光栅（1200g/mm）光谱范围在104-1030nm；
u 计算机控制狭缝从25-104um进行距离调节；
u 计算机控制入射孔径从f/3.2-f/8.4进行变化调节；
u 计算机控制滤镜排列顺序；
u 计算机控制光栅角度意味着可使用全范围的光栅构建全景频谱；
u 层流净化系统可使光谱下限到达104nm；
u UHV与窗口的接口使得光谱仪可以在烘焙期间从超高真空室中移除；
u 采用荧光涂层的稳定探测器可消除VUV探测器背景的历史效应，探测范围从100-1000nm;
u 连带最多10米线缆的USB接口可控制光谱仪及数据采集；
u 紧凑的设计可进行远程运行操作；
u 配件包括一个内置的校准光源和一个LED平面光源；
u 可选NIST可溯源校正；
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技术参数
规格 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
焦距（输入） | 76 | 76.2 | 74.4 | mm |
焦距（输出） | 41 | 46 | 48 | Mm |
波长范围（1200） | 104 | - | 1040 | nm |
波长范围（1800） | 104 | - | 520 | |
波长范围（3600） | 104 | - | 340 | |
波长精确度(1200) | - | - | nm | |
波长精确度(3600) | ±0.12 | - | ||
CCD量子效率（110~400 nm） | 10 | 18 | 20 | % |
CCD量子效率（400~930 nm） | 15 | 34 | 42 | % |
CCD量子效率（930~1050 nm） | 3 | 12 | 15 | % |
0.4 | 0.66 | 1 | nm | |
分辨率 2400 25mic f 3.2 | 0.2 | 0.33 | 0.5 | nm |
分辨率 3600 25mic f 3.2 | 0.13 | 0.22 | 0.27 | nm |
有效栅格 | 600-4200槽/mm | |||
波长 | 对于104-1100nm最多5帧100-500nm | |||
波长分辨率 | 3600槽/mm的光场中心<0.25nm； | |||
软件可选狭缝/秩序蒙版/黑色快门 | 25,50,100,200,400微米 | |||
软件选择光谱范围 | 3600l/mm 100-315nm(2步) 1200l/mm grating 110-950nm(5步) | |||
软件可选光栅孔径 | f/#有效范围： 3.2-8.4 | |||
探测器 | 具有荧光体的2048像素的线性阵列 | |||
特高真空选项 | 窗口适配器与2.75“Conflat™法兰 | |||
连接 | 2个USB2.0接口用于数据/电源/控制 | |||
尺寸 | 数值 | |
高度 | 11.3cm(4.46in) | |
高度（配备UHV适配器） | 20.2cm(8.4in) | |
光谱仪宽度 | 11.1cm(4.37in) | |
光谱仪深度 | 6.1cm(2.4in) | |
材料 | ||
窗口 | MgF2 | |
测光导轨 | 铝/6061/T6 | |
真空泵适配器 | 304 ss / OFE铜垫圈 | |
质量 | ||
光谱仪 | 600Gm | |
真空紫外接口 | 550Gm | |
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温度 | ||||
运行温度范围 | -20 | 22 | 70 | 度 |
真空法兰+窗口 | -50 | 22 | 220 | 度 |
真空泵适配器 | 1e-14 | 1e-10 | 1e-9 | Mbar |
电学 | ||||
系统电源USB总成 | USB2.0 | |||
电流消耗 | <500mA | |||
真空泵接口
光谱仪前面的2.75寸的法兰可以连接超高真空室。光谱仪与真空适配器中的MgF2窗口隔离；
清洁净化气体可用N2/Ar/He气体；
光谱仪可从真空室中移除且不破坏真空室，这允许超出光谱的超高真空非操作限制；
软件和驱动
随机附带一套用于控制所有光谱仪功能/显示/数据存储的操作软件；
功能包括：
u 调整所有的CCD参数（如：波长系数/积分时间）；
u 狭缝宽度设置调节；
u 光谱仪波长范围控制；
u 光谱仪入光孔径控制；
u 光谱仪滤光镜排列顺序控制 ；
u 像素或波长显示设置；
u 数据导出功能；
u 存储多个光谱/图像；保存多光谱数据；
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