产品简介：

Non-Contact Surface Mapping
Measures roughness, finish and texture of surfaces ranging from highly polished
optics to rough surfaces such as rolled steel and aluminum, paper, plastics, ceramics, magnetic media and silicon wafers. Specialized applications are configurable, for example those for read/write heads and analysis of laser texture on disk media.

Research Flexibility, Yet Speed for Process Control
Using the powerful MapVueTM mapping and analysis software provided, product
developers can obtain surface information which can optimize the texture, shape and finish of surfaces. Complete mapping options allow three-dimensional pictures to be drawn, profiles examined and color output to be printed. Eyepieces also provide the researcher with direct observation of the surface.
Once R&D has refined the surface, the instrument readily adapts to production
process control. A DSP-based video digitizer, optimized software, and the
fastest Pentium processor permit the throughput rates that are critical on the
production floor.

Essential Information Immediately Displayed
Regardless of the application, MicroXAM’s software is designed for industrial use.
Industry standard statistics are stored in reports or as graphical data. ASCII data files are based on University of Birmingham specified (UDF) format. Extreme amplitude and average amplitude parameters are calculated, stored, and displayed. Configuration options allow the process engineer to select the essential information for display, while the report retains the whole picture for review and manipulation by spreadsheet.

Measurement Features
3-D interferometric profiling. Quantitative, visual and confocal modes using optical
interferometry. Standard 2D and 3D surface statistics including summit and valley
analyses and University of Birmingham specified S-parameters.

Software Features
Comprehensive graphical software for the acquisition, analysis, manipulation and
visualization of data. Calculation of surface statistics including summit and valley
analysis. Fourier transform based spatial filtering tools facilitate high/low/band pass and band-reject filtering. Polynomial fitting, data filtering, scaling, masking and interpolation. Interactive zoom. X-Y and line segment profiles. 3D wire, hybrid and solid plots. Area difference plot for step height measurement.

Physical Features
Optical Microscope with eyepieces and video display of images. Computer sensing of turret-based objectives allow easy change of magnification. High resolution camera measures up to 752x480 data points in seconds. Autofocus simplifies measurements.
Upgradeable Pentium computer. Options include motorized stage controller, various objectives, and multiple magnification wheel.

规格参数：

Equipment:
Digitized resolution: 752x480 pixels
1000x1000 pixels
XY translation stage range: 100mm by 100 mm
Options: 150mmx150mm
200mmx200mm
300mmx300mm
R-theta stage range: 100 mm in y direction
Tip-tilt range: ± 7 degrees
Camera rotation: ± 90 degrees, worm-gear drive
Electronics/software platform: Pentium 4 PC
Video display: 17 inch flat panel SVGA monitor,
Data acquisition (standard rate): 2.1 μm/sec.
Data acquisition (high speed rate): 7.2 μm/sec
Vibration isolation table: optional


Performance:
RMS repeatability (standard mode): 1 nm
RMS repeatability (precision mode): 0.1 nm
RMS repeatability (single wavelength): 0.05 nm
Vertical scan range: up to 10mm
Data acquisition time: up to 7.2 μm / sec
Lateral surface sampling: 0.11 to 8.8 μm
Field-of-view: 8x10mm (@ .78x) to .084x .063mm (@ 100x)
Maximum slope: 40 to 3.2 degrees
Calibrated accuracy: better than 0.1%
Reflectivity: 1% to 100%

此仪器尚未上传分析方法

此仪器尚未上传资料

此仪器尚未选择应用领域

首页 >> 通用分析仪器 >> 显微镜 >>工具显微镜、测量显微镜 >>进口工具显微镜