核心参数

电子枪种类： 钨灯丝

产地类别： 进口

二次电子图象分辨率： 4nm@30kv

放大倍数： 10X-300,000X

加速电压： 200V-30KV

背散射电子图像分辨率： 5nm@30kv

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Veritas-300plus属于【Emcrafts】第二代钨灯丝系列扫描电子显微镜

Veritas-300plus大型样品仓扫描电镜

是全数字化控制，专业级电子显微成像及分析仪器。Veritas-300plus采用大型立方体样品分析室（分析室可定制），全内置五轴优中心大行程自动样品台，为大块样品如零部件整体检测，为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。300PLus具有低真空环境成像功能，非导电样品可直接电子显微成像分析检测。
12198161_VERITAS扫描电镜.png

技术特征：

1、全数字控制，专业级成像分析电子显微分析平台

2、五轴中心样品台，全自动控制，高效灵活优化电子显微成像分析效果；

3、低真空环境绝缘体可直接观察

4、容纳直径200mm样品，重量可达2kg.

5、一体化设计，可随时移动。

Veritas高级平台.JPG

软件特征：

用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；

特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；

高效拍照：自动照相（Auto Imaging）；

大图拼接：连续视野照片缝合；

信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；

鼠标键盘操作，简易快捷。

Genesis-II型扫描电镜软件.jpg

安装示意
veritas扫描电镜安装

【性能指标】

型号	Veritas-300plus
样品台	五轴优中心，全自动 X: 120mm Y: 120mm Z: 5-65mm R: 360°无限 T: -20°~90°
电子枪	预对中钨灯丝三极自动偏压
加速电压	200V-30KV （发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率：5.7W)
探测器	ET-SED， Semconductor Solid state Bse Detector
物镜光阑	20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑
分辨率	4nm @30KV ( SEI) 5nm@30KV (Bse Image)
放大倍数	10-300,000 X
样品室	内部尺寸 230（W）x210（D）x260（H)mm ，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口
样品尺寸	Φ210mm X 65mm
工作距离	0-65mm
扫描光栅运动	电位移 ±50μm，电旋转 0-360°
扫描模式	聚焦模式：320X240 像素，尺寸可变 TV模式：800x 600像素慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素动态聚焦，倾斜补偿
图像格式	JPG、TIFF、bmp、PNG
真空模式	高真空优于9x10-3Pa 低真空范围 10-230Pa
真空系统	全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等
自动功能	亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中
软件系统	基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。
主机尺寸/重量	800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg
电源	单相交流 220V 、50Hz、1KW
耗材附件	预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具
可选配置	四象限BSED \| 样品室摄像机 \| 升级LaB6/CeB6阴极 \| 3D重构成像软件 \| 拉曼光谱 \| EDS能谱仪 \| WDS波谱仪 \| EBSD 电子背散射衍射 \| CL 阴极荧光 \|电子束曝光装置

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