电子枪种类: 钨灯丝
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 4nm@30kv
放大倍数: 10X-300,000X
加速电压: 200V-30KV
背散射电子图像分辨率: 5nm@30kv
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Veritas-300plus属于【Emcrafts】第二代钨灯丝系列扫描电子显微镜
Veritas-300plus大型样品仓扫描电镜
是全数字化控制,专业级电子显微成像及分析仪器。Veritas-300plus采用大型立方体样品分析室(分析室可定制),全内置五轴优中心大行程自动样品台,为大块样品如零部件整体检测,为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。300PLus具有低真空环境成像功能,非导电样品可直接电子显微成像分析检测。
技术特征:
1、全数字控制,专业级成像分析电子显微分析平台
2、五轴中心样品台,全自动控制,高效灵活优化电子显微成像分析效果;
3、低真空环境绝缘体可直接观察
4、容纳直径200mm样品,重量可达2kg.
5、一体化设计,可随时移动。
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging);
大图拼接:连续视野照片缝合;
信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
鼠标键盘操作,简易快捷。
安装示意
【性能指标】
型号 | Veritas-300plus |
样品台 | 五轴优中心,全自动 X: 120mm Y: 120mm Z: 5-65mm R: 360°无限 T: -20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV (发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率:5.7W) |
探测器 | ET-SED, Semconductor Solid state Bse Detector |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) 5nm@30KV (Bse Image) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | 内部尺寸 230(W)x210(D)x260(H)mm ,Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
样品尺寸 | Φ210mm X 65mm |
工作距离 | 0-65mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 动态聚焦,倾斜补偿 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa 低真空范围 10-230Pa |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟) -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中 |
软件系统 | 基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 800(W)x825(D)x 1500(H)mm /200kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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