电子枪种类: 冷场发射
二次电子图象分辨率: 1.2nm@30KV
放大倍数: 底片倍率:10 – 600,000x显示器倍率:18 – 1,000,000x (800x600像素)
加速电压: 0.1 – 30kV
背散射电子图像分辨率: 3.0nm@15KV
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产品介绍:
日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点,不仅具有强大的观察分析能力,同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求,也满足了电镜初学者对高质量图片的需求,是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。
主要特点:
? 高稳定性热场发射电子枪
? 全新的EM Wizard软件,无需设置参数即可获得高质量图片
? 高分辨率和强大的分析能力
? 样品适用性强:不导电样品直接观察(低真空功能,10-300Pa)
? 全新的multi-finder功能,方便快捷的寻找样品
? 附件功能强大:拉伸台,冷热台,电子束曝光,红外CCD,离子束清洁系统等。
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