电子枪种类: 钨灯丝
二次电子图象分辨率: 3nm
放大倍数: X10~X300,000
加速电压: 200v ~ 30Kv
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技术指标:
外形尺寸(mm):
-- 主机:600(W) x 623(D) x 1350(H) 135kg
-- 机械泵:454(W) x134(D) x 212(H) 22kg
电源:
-- 220V,50Hz ,1KW
电子光学
-- 分辨率:3nm@ 30kv 二次电子像
-- 放大倍数:X10~X300,000
-- 加速电压:200V ~ 30KV
-- 电子枪:三极自动偏压,预对中钨灯丝阴极
-- 电磁对中器:四极电磁式
-- 电磁透镜:两级聚光镜,一级物镜,
-- 物镜光阑:四位可变光阑(20/20/50/100)μm
-- 扫描光栅:电位移 ±50μm ; 电旋转,360°
-- 消像散器:八极电磁式
图像探测器:
-- ET-型 二次电子探测器
-- 背散射电子探测器(可选)
样品室:
-- 可接能谱仪、波谱仪、阴极荧光等多种探测器
样品台:
-- 五轴自动机械对中样品台,
-- 行程: X,40mm; Y,40mm;Z,5-45mm;倾斜,-20°~90°;旋转,360°
-- 最大样品尺寸:直径96mm ,高度50mm
真空系统:安全逻辑阀,全自动控制真控系统,高真空时间小于3分钟
-- 涡轮分子泵
-- 旋片式机械泵
-- 高真空度:7.5E-3Pa
-- 低真空模式:10~100Pa (可选)
扫描模式:
-- 选区模式:320x240 像素,可用户定义
-- 慢扫描模式: 800x600像素
-- 照相模式:最大3200x2400像素
控制系统:
-- 基于Win8,USB接口,GUI专用操作软件,键盘鼠标控制模式
-- 自动控制功能:自动聚焦,自动亮度对比度,自动电子枪偏压,自动电子枪对中
北京驰奔仪器有限公司,是专业扫描电镜SEM系统销售及服务商,是进口Genesis系列小型立式扫描电镜中国独家代理。在北京设立小型立式扫描电镜演示及服务中心,为客户提供周到技术支持和服务 背散射电子成像在扫描电镜应用中非常普遍。入射电子和样品中一个或多个原子核碰撞,能量损失很小改变入射电子运动方向(弹性散射)并从样品表面出射的入射电子称为背散射电子。背散射电子信号携带样品平均原子序数信息、样品表面形貌信息、晶体结构取向信息, 背散射电子成像的典型特色是提供样品表面或样品内部不同原子序数部位的亮暗对比反差。
北京驰奔仪器有限公司,是专业扫描电镜SEM系统销售及服务商,是进口Genesis系列小型立式扫描电镜中国独家代理。在北京设立小型立式扫描电镜演示及服务中心,为客户提供周到技术支持和服务 半导体探测器晶体常常是环形对称,信号及探测器系统分析表明,一体的探测晶体倾向于消除形貌反差,增强成分Z反差,这也是背散射探测器最大的使用价值。最早的研究者经过理论分析,认为将探测器晶体进行分割然后对称的探测信号进行代数运算,可消除成分Z反差,突出形貌反差, 各种实验研究表明,确实如此,但通过信号重构样品形貌也存在一些人工假象,需要特别注意。
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