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仪器介绍 [下载样本]
ESCA+的设计针对现在和将来用户对于稳定和性能的要求,兼具简便的操作和高性能的XPS。
ESCA+结合了Omicron在纳米分析领域的经验和最新的技术,可以满足所有常规表面分析对ESCA的要求。包括最先进的XPS电荷中和技术和ZalarTM深度分析在内,ESCA+满足了快速准确定量XPS的所有先决条件。
系统的设计不仅针对XPS市场上最好的溅射深度分析,同时还为非破坏性角分辨XPS进行了优化。
ESCA+结合了Omicron在纳米分析领域的经验和最新的技术,可以满足所有常规表面分析对ESCA的要求。包括最先进的XPS电荷中和技术和ZalarTM深度分析在内,ESCA+满足了快速准确定量XPS的所有先决条件。
系统的设计不仅针对XPS市场上最好的溅射深度分析,同时还为非破坏性角分辨XPS进行了优化。
技术参数
1.普通光源分辨率 6,500,000cps (MgKα 1.40eV Ag3d5/2峰)
2.单色光源分辨率 210,000cps (AlKα 0.60eV Ag3d5/2峰)
3.单色X射线线宽小于250meV,最大功率600W
4.XPS分析区域直径可小于70μm
5.一次进样可容纳5个25mm直径样品或两个50mm直径样品
6.可对样品原位升温、降温,温度范围120K至800K
7.离子枪束斑<150μm,为深度分析提供有力工具
8.真空度好于3x10-10mbar
2.单色光源分辨率 210,000cps (AlKα 0.60eV Ag3d5/2峰)
3.单色X射线线宽小于250meV,最大功率600W
4.XPS分析区域直径可小于70μm
5.一次进样可容纳5个25mm直径样品或两个50mm直径样品
6.可对样品原位升温、降温,温度范围120K至800K
7.离子枪束斑<150μm,为深度分析提供有力工具
8.真空度好于3x10-10mbar
主要特点
1. 快速可靠的ESCA分析
2. 简便的样品操作和定量分析
3. 可分析磁性材料,带电材料,粉末及不导电样品等
4. 可结合数据库进行定量分析
5. 先进的电荷中和技术,交叉的电子、离子束保证了对各种样品有效的电荷中和
6. 针对角分辨XPS进行优化
7. 样品ZalarTM旋转,使深度分析获得更好的分辨率
8. 大样品台及多样品进样设计,实现高通量分析
9. 样品可在分析位置进行升温、降温
10.关键操作可由软件控制
11.系统便于升级,可添加ISS、UPS、AES、SEM/SAM、SPM等表面分析技术
12.真正的超高真空系统
2. 简便的样品操作和定量分析
3. 可分析磁性材料,带电材料,粉末及不导电样品等
4. 可结合数据库进行定量分析
5. 先进的电荷中和技术,交叉的电子、离子束保证了对各种样品有效的电荷中和
6. 针对角分辨XPS进行优化
7. 样品ZalarTM旋转,使深度分析获得更好的分辨率
8. 大样品台及多样品进样设计,实现高通量分析
9. 样品可在分析位置进行升温、降温
10.关键操作可由软件控制
11.系统便于升级,可添加ISS、UPS、AES、SEM/SAM、SPM等表面分析技术
12.真正的超高真空系统
分析方法
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