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108AUTO 离子溅射仪

108AUTO 离子溅射仪
型号:108 品牌: 泰德派勒
供应商报价: 面议 参考报价: 5万-10万
样本: 【下载】 产地:美国
更多离子溅射仪

广州竞赢化工科技有限公司

  • 仪信通银牌会员 第10
  • 信用积分:2762
  • 厂商性质:授权经销商
  • 产品总数量:98
400-860-5168转1729
仪器信息网认证,请放心拨打
厂商反馈速度 6-8 小时

108AUTO 离子溅射仪 核心参数 索要更多参数

  • 溅射气体
    空气
  • 样品台尺寸
    可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
  • 控制方式
    自动/手动
  • 样品仓尺寸
    直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
  • 靶材尺寸
    57*0.1mm
  • 靶材材质
    Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配)
  • 仪器种类
    进口离子溅射仪

  108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

  • 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

  • 可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数
样品室大小 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶为标配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mmx 0.1mm厚
样品台 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
溅射控制 微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量 真空:Atm - 0.001mbar
厚度监控
(选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
桌上系统 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

 

典型用户

采购单位名称 采购时间 采购台数
烟台万润集团 2013-01-07 1
吉林大学 2012-10-18 1
仲恺农学院 2012-06-13 1
电子五所 2013-04-11 2
复旦大学 2011-11-19 1
东北石油大学 2013-01-14 1
贵州大学 2011-09-23 1
南昌大学 2011-11-10 1
哈尔滨工业大学 2012-10-03 1
河南师范大学 2013-02-12 1
华南理工大学 2013-03-04 1
中山大学 2012-12-06 1

常用搭配仪器

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