电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线，对特征性X射线进行分光和强度测定，得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器（WDS），与能量色散型X 射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特点。因此，EPMA与扫描型电子显微镜（SEM）配置EDS 检测器比较，可以进行更高精度和更高灵敏度的分析。

    岛津公司在19世纪60年代，开发出世界首台电子探针“MOSRA”,并不断推出【ASM】、【EMX】、【EPM】、【EPMA】系列产品，始终秉承【重视高取出角、注重元素分析】的开发理念，将电子探针的功能完美发挥。 

    2009年，推出最新型电子探针EPMA-1720/1720H，将先进的分析本领与卓越的操作性能融为一体。

●分析元素范围        ₄Be～₉₂U
●X射线分光器数      2～5 道
●X射线取出角          52.5°
●罗兰圆半径            4英寸（101.6mm）
●二次电子分辨率    6nm ( EPMA-1720), 5nm ( EPMA-1720H)

先进的分析本领与卓越的操作性能融为一体！
◆X射线取出角决定分析性能，52.5°高取出角更胜一筹。
◆Johanson型分光晶体同时实现高灵敏度•高精度。
◆可配置5道覆盖全部分光范围的4英寸分光器。
◆高亮度电子枪CeB6保证长期稳定的高空间分辨率。