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Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。
Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
Quanta FEG和Quanta一样具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

1.分辨率：
　二次电子像:
　　高真空模式 1.2nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
　　低真空模式 1.5nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
　　环境真空模式 1.5nm @ 30kV
　背散射电子:
　　高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
　扫描透射STEM探测器:
　　0.8nm @ 30kV
2.加速电压 200V ～ 30kV,连续可调
3.高稳定性Schottky场发射电子枪
4.最大束流 >100nA
5.样品室压力最高达4000Pa
6.样品台移动范围
　Quanta 200 FEG: X=Y=50mm
　Quanta 400 FEG: X=Y=100mm
　Quanta 600 FEG: X=Y=150mm

1.完全数字化系统控制，Windows XP操作系统
2.场发射环境扫描系统兼顾高分辨和样品多样性
3.数字电影功能可将观察过程记录为avi视频文件
4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统
5.可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品动态观察和分析

1.Wet STEM: A newdevelopment in environmental SEM for imaging nano-objects included in a liquid phase

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