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俄歇电子能谱,全称为俄歇电子能级分析谱(Auger electron spectroscopy, AES),是一种材料表面化学分析方法。俄歇电子能谱的工作原理是在样品表面利用高能粒子(如电子束或X射线)激发样品原子,使得局部电子被排出,产生一个空穴。这个空穴被原子内部的更高能级电子填充,而填充该空穴的电子将释放出余额能量。这些能量以形式吸收或发出一个俄歇电子,从而产生一个能量特征图谱,可以用来确定材料的元素组成和化学状态。此技术具有高空间分辨率、高元素选择性和表面敏感性等特点,可广泛应用于材料科学、表面化学、电子学、半导体和纳米科学等领域。
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